半導體磊晶技術

半導體磊晶技術

利用分子束磊晶與有機氣相沉積完成之ZnSe藍光雷射、GaN紫外光偵檢模組等,均為國內首創。

• III-V族與II-VI族整合之磊晶系統,能同時磊晶多種元件材料。
• 可磊晶紫外光到紅外光之III-N光電元件。
• 精準控制超晶格厚度與品質。
• 可應用於發光二極體、半導體雷射與各式偵檢元件之磊晶層設計與製作。