半導體磊晶技術

半導體磊晶技術

利用分子束磊晶系統(MBE)與金屬有機化學氣相沉積系統(MOCVD),完成光電半導體元件之磊晶。
  ◆MBE:
     █ III-V族磊晶系統,能同時磊晶多種元件材料。
     █ 可磊晶紅外光之III-Sb光電元件。
     █ 精準控制超晶格厚度與品質。
     █ 銻基系列磊晶片製作紅外線影像感測器(國內首創)
 ◆MOCVD:
     █ 氮化鎵/氮化鋁鎵成長於碳化矽、藍寶石、矽晶圓上之磊晶技術服務