紅外線焦平面陣列偵檢器

紅外線焦平面陣列偵檢器

紅外線焦平面陣列偵檢器是一種可將紅外線輻射能量轉換為電訊號的感測元件，其基本原理為利用材料對不同波長紅外光的吸收特性，使入射紅外能量轉換為電荷或電阻變化，再透過讀出電路(ROIC)轉換為可處理的影像或訊號。本院的紅外線偵檢器涵蓋InSb、InGaAs、T2SL三大材料，從磊晶元件製程、金屬導線製程、3維垂直堆疊製程皆具備量產能力。產品可支援中波段(3-5um)、短波段(0.9-1.55um)，廣泛應用於軍事偵測、夜視系統、熱影像儀、工業檢測等領域。隨著半導體製程與材料工程的進步，現代紅外線偵檢器已能達到高解析度1280X1024、小像素尺寸(pitch 12um)及低功耗的特性與多光譜偵測發展。未來紅外線偵檢器將在國防安全、太空探測等領域扮演更佳關鍵角色。